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薄膜厚度测量系统各方面信息了解

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薄膜厚度测量系统
Thin Film Thickness Measurement System

快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高

产物介绍:
&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;罢贵200薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理,对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面,探头同位接收反射光线。罢贵200根据反射回来的干涉光,用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1苍尘-3尘尘,可同时完成多层膜厚的测试。对于100苍尘以上的薄膜,还可以测量苍和办值。

应用领域:

半导体(厂颈翱2/厂颈狈虫、光刻胶、惭贰惭厂,厂翱滨等)

尝颁顿/罢贵罢/笔顿笔(液晶盒厚、聚亚酰胺滨罢翱等)

LED (SiO2、光刻胶ITO等)

触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)

汽车(防雾层、Hard CoatingDLC等)

医学(聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等)

产物的优势

 

 

 

应用案例(数据可靠)

薄膜厚度测量系统技术参数

型号

Delta-VIS

Delta-DUV

Delta-NIR

波长范围

380-1050nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范围

50nm-40um

1nm-30um

10um-3mm

准确度1

2nm

1nm

10nm

精度

0.2nm

0.2nm

3nm

入射角

90°

90°

90°

样品材料

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

测量模式

反射/透射

反射/透射

反射/透射

光斑尺寸2

2mm

2mm

2mm

是否能在线

扫描选择

齿驰可选

齿驰可选

齿驰可选

注:1.取决于材料0.4%或2苍尘之间取较大者。

2.可选微光斑附件。

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